贵司如何解决碳化硅易脆裂问题？

　　针对碳化硅硬度高但脆性大的特点，设备采用三项设计：

　　①软性密封；

　　②严格控制换热管与外壳的直线度；

　　③底座与平面采用软过渡结构，抵御热冲击与振动。